Instrumentación de vacío

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  •  Sensores Piezorresistivos
  • Transferencia de energía térmica
  • Sensores duales
  • Ionización

vacio3

Sensores Piezorresistivos (Serie 760s)

Su funcionamiento se basa en la modificación de la resistencia eléctrica del material piezorresistivo ante una variación de presión. Se trata de una medida directa de presión por lo que el valor obtenido no depende del tipo de gas ni de su composición. El sensor incluye una referencia de vacío sellada y electrónica con compensación de temperatura, proporcionando una salida lineal. Se trata de un sensor competitivo, que es apto para aplicaciones con un vacio no demasiado alto (0.1 a 999 Torr)

Sensores por transferencia de energía térmica

La conducción térmica de un gas es nula en el vacio ideal y aumenta a medida que el vacio disminuye.

Sensores de termopar (Series VT-4, VT-5, VT-6):

Proporcionan una medida precisa, con compensación de temperatura. (Hasta 0.0001 Torr)

Sensores Pirani:

El sensor Pirani consiste en un elemento resistivo de Pt (resistencia calefactora) colocado sobre una membrana de una micra de espesor de Si3N4, rodeado de una resistencia de referencia de Pt sobre un substrato de Si.

Sobre la membrana se coloca una tapa de Si a una distancia de tan sólo 5 micras. La membrana se calienta a una temperatura constante de 8ºC sobre la temperatura ambiente siendo monitorizada por la resistencia del substrato. Al aumentar el vacio, se reduce la pérdida de calor por conducción. La técnica de medida consiste en producir una señal de salida que es proporcional a la potencia suministrada a la resistencia calefactora.

Sensores duales (pirani+piezorresistivo) (Serie 2002)

Sensores con un gran rango dinámico (10-4 a 1000 Torr), con gran respuesta dinámica y lineales por decada

La unidad de control monitoriza contínuamente las salidas tanto del sensor piezorresistivo como del sensor Pirani. La salida del equipo se basa en el sensor piezorresistivo para altas presiones (>32 Torr) y en el sensor Pirani a bajas presiones (<8 Torr). En la zona intermedia el valor se determina mediante un algoritmo que asegura un transición suave entre ambos sensores.

Sensores de ionización (IGE-3000)

Proporcionan una salida exacta y repetible tanto para valores medios de vacio como en los rangos de ultra-vacio. (10-10 Torr a 10-2 Torr). El sensor está formado por un filamento (cátodo), una rejilla (ánodo) y un colector de iones.

A través del filamento se hace pasar una corriente de forma que este se caliente lo suficiente como para producir una emisión de electrones constante. Entre la rejilla y el filamento se mantiene una diferencia de potencial que hace que estos electrones sean acelerados hacia la rejilla. Algunos electrones colisionan con moleculas del gas lo cual puede provocar su ionización, dejando un iones positivos. Estos iones se aceleran hacia el colector. El ratio de colisión electrón-molécula depende de la densidad de moléculas de gas, es decir depende de la presión del gas. La determinación del vacio se realiza mediante la medida de la corriente del colector.

 

Aplicaciones

  • Criogenia
  • Hornos de vacío
  • Industria farmaceutica
  • Aire Acondicionado y Refrigeración
  • Aceleradores
  • Purificación de aceite de transformadores
  • Recubrimiento de película delgada
  • Alimentación

 

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