Vacío

Sensores Piezorresistivos  (Serie 760s)

Su funcionamiento se basa en la modificación de la resistencia eléctrica del material piezorresistivo ante una variación de presión. Se trata de una medida directa de presión por lo que el valor obtenido no depende del tipo de gas ni de su composición. El sensor incluye una referencia de vacío sellada y electrónica con compensación de temperatura, proporcionando una salida lineal. Se trata de un sensor competitivo, que es apto para aplicaciones con un vacio no demasiado alto (0.1 a 999 Torr)

Sensores por transferencia de energía térmica 

La conducción térmica de un gas es nula en el vacio ideal y aumenta a medida que el vacio disminuye.

Sensores de termopar (Series VT-4, VT-5, VT-6):

Proporcionan una medida precisa, con compensación de temperatura. (Hasta 0.0001 Torr)

Sensores Pirani:

El sensor Pirani consiste en un elemento resistivo de Pt (resistencia calefactora) colocado sobre una membrana de una micra de espesor de Si3N4, rodeado de una resistencia de referencia de Pt sobre un substrato de Si. 

Sobre la membrana se coloca una tapa de Si a una distancia de tan sólo 5 micras. La membrana se calienta a una temperatura constante de 8ºC sobre la temperatura ambiente siendo monitorizada por la resistencia del substrato. Al aumentar el vacio, se reduce la pérdida de calor por conducción. La técnica de medida consiste en producir una señal de salida que es proporcional a la potencia suministrada a la resistencia calefactora.